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美國B(niǎo)rooks壓力控制器PC100系列有現貨

PC100系列金屬密封壓力控制器穩定的壓力控制以及更高的過(guò)程氣體純度，最大限度優(yōu)化處理效果

布魯克斯儀器的金屬密封壓力控制器的設計特點(diǎn)是經(jīng)久耐用，同時(shí)還具備持久和得到認可的準確性，液體測量和控制領(lǐng)域的企業(yè)用戶(hù)均信賴(lài)布魯克斯。我們的電子壓力控制器將核心控制技術(shù)用于自身業(yè)內的熱質(zhì)量流量控制器。

電子壓力控制器不存在傳統機械彈簧式隔膜壓力調節器所導致的衰減和滯后問(wèn)題。同時(shí)，選擇金屬密封壓力控制器可提高氣體純度，原因是此類(lèi)控制器不使用會(huì )發(fā)生氧滲透的彈性體，并且金屬密封件能夠減少維護次數可無(wú)限期使用。

另外還提供帶有內部壓力傳感器的布魯克斯壓力控制器以在 torr 級至 500 psig 范圍內進(jìn)行壓力控制。結果：能夠始終確保關(guān)鍵半導體工藝準確執行并得到嚴格控制的壓力控制器。

應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP

化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD

設計精密的表面涂層

分析系統

真空處理應用

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