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低流量，雙向常閉（NC）比例閥，帶有集成的熱補償功能，可在各種介質(zhì)上保持和可重復的流量。VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣，VSOLowFlow微型比例閥可根據輸入電流提供的氣體流量控制?？梢酝ㄟ^(guò)DC電流或脈沖寬度調制以及閉環(huán)來(lái)控制閥門(mén)。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質(zhì)譜設備制造商。
•實(shí)現的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高儀器精度•進(jìn)行熱補償以保持各種介質(zhì)的流動(dòng)用于性能可追溯性的計算機自動(dòng)校準和序列化•清潔氧氣和分析服務(wù)使用經(jīng)過(guò)驗證的性能測試到1000萬(wàn)個(gè)生命周期•符合RoHS標準
PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應用行業(yè)如下：•氣相色譜•質(zhì)譜•壓力和流量控制•質(zhì)量流量控制
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